Asignaturas: descripción

Asignatura A15096. Información administrativa

Titulación:
Ingeniero en Electrónica


Departamento:
Electricidad y Electrónica

Centro:
E.T.S. de Ingenieros de Telecomunicación
Campus "Miguel Delibes". Paseo Belén 15. 47011 Valladolid

Curso: 2º
Carácter: Troncal
Impartición: Primer cuatrimestre
Número de créditos: 6
Ofertada actualmente: Sí
Observaciones: Sin docencia desde el curso 2014-15

Descripción de la asignatura

Página web:

• Página oficial de la UVA

Profesores:

• José Emiliano Rubio García
  • Email: emirubteluvaes

Objetivos:

Estudio de los materiales y procesos utilizados en la fabricación de circuitos integrados.





Descripción:

Se estudian cada uno de los procesos tecnológicos y la integración de todos ellos para fabricar dispositivos bipolares y MOS, así como la dependencia de los parámetros de estos dispositivos con la tecnología utilizada.

Contenidos:

I. PROCESOS TECNOLÓGICOS

1. Introducción.
2. Crecimiento de cristales y preparación de obleas.
3. Oxidación térmica.
4. Difusión térmica.
5. Implantación iónica.
6. Crecimiento epitaxial.
7. Depósito de capas delgadas.
8. Litografía.
9. Grabado químico y físico.
10. Metalización. Interconexiones y contactos.

II.INTEGRACIÓN DE PROCESOS VLSI

11. Tecnología bipolar.
12. Tecnología MOS.
13. Tecnologías avanzadas para Circuitos Integrados.




Prácticas:

Simulación de procesos tecnológicos y dispositivos mediante los programas SUPREM y PISCES.

Evaluación:

Examen escrito con cuestiones teóricas y prácticas

Fecha de revisión: 26-01-2015